低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。等离子体反应区富含极高的物质，如高能电子、离子、自由基和激发态分子等，废气中的污染物质可与这些具有较高能量的物质发生反应，
使污染物质在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。
与传统的电晕放电形式产生的低温等离子技术相比较，等离子体技术放电量是电晕放电的50倍，放电密度是电晕放电的130倍。所以，传统低温等离子体技术只能用于室内空气异味治理，与其他低温等离子体技术相比较，等离子体技术是唯一用于工业化工艺
废气治理的技术。
